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晶圓切割卷邊如何解決

時間:2021-08-06

晶圓切割過程中可能會發生崩邊現象,大概分為三種類型初期chipping、重復循環chipping 、其他chipping,產生的原因不同。初期chipping一般是因為刀片安裝傾斜,刀片未修成真圓,這種情況只需要檢查刀片安裝精度,重新進行預切割既可。循環chipping則是因為刀片表面受到沖擊,刀片表面有大顆粒金剛石突起,這種情況需要檢查刀片表面合理解決即可。